لیتوگرافی

دستگاه لیتوگرافی ماسی با مسک الاینر شرکت توسعه تجهیز نویان، محصولی دانش بنیان می باشد که در دو مدل دستی و موتورایز را تولید شده است. در مدل دستی حرکت استیج توسط میکرومتر با رزولوشن 5 میکرومتر انجام می شود. در مدل الاینرموتورایز حرکت استیج نمونه و دوربین موتورایز بوده که رزولوشن حرکتی استیج 0.2 میکرومتر است که موجب سرعت و دقت الاینینگ می شود.

در هر دو مدل دستی و موتورایز دو مد نوردهی پیوسته و پالسی وجود داشته که نوردهی پالسی جهت لیتوگرافی با نسبت ارتفاع به عرض بالا (3) استفاده می شود. به عبارتی در فوتورزیست های منفی و بخصوص در ضخامتهای زیاد، نوردهی مستقیم و بدون وقفه موجب پراش نور و ذوزنقه شدن کانالها می شود که نوردهی پالسی امکان دستیابی به کانالهایی با دیواره عمودتر را فراهم می کند

اپتیک و لنزهای مجموعه نوردهی شبیه سازی، بهینه و ساخته شده اند که این میزان از دقت در ساخت منجر به دستیابی به خطای توازی زاویه تابش نور به کمتر از 1 درجه شده است. قابل ذکر است که استفاده از مد پالسی و اپتیک مناسب مجموعه نوردهی امکان لیتوگرافی با کیفیت تری را فراهم کرده است.

طراحی، برنامه نویسی و نرم افزار دستگاه و ساخت مجموعه در شرکت انجام شده که قابلیت توسعه و آپدیت دستگاه در آینده را فراهم می سازد.

طول موج نوردهی 365 نانومتر است که البته بر حسب نیاز محققان قابل تغییر نیز هست.

ناحیه نوردهی: 11 سانتیمتر که کمتر دستگاهی قابلیت نوردهی در این ابعاد را دارد.

این محصولات دارای گارانتی 12 ماهه می باشند.

تولید و تامین لوازم جانبی مورد نیاز