لیتوگرافی

ویژگی ها

  • دستگاه لیتوگرافی ماسی با مسک الاینر شرکت توسعه تجهیز نویان، محصولی دانش بنیان می باشد که در دو مدل دستی و موتورایز را تولید شده است. در مدل دستی حرکت استیج توسط میکرومتر با رزولوشن 5 میکرومتر انجام می شود. در مدل الاینرموتورایز حرکت استیج نمونه و دوربین موتورایز بوده که رزولوشن حرکتی استیج 0.2 میکرومتر است که موجب سرعت و دقت الاینینگ می شود.

  • در هر دو مدل دستی و موتورایز دو مد نوردهی پیوسته و پالسی وجود داشته که نوردهی پالسی جهت لیتوگرافی با نسبت ارتفاع به عرض بالا (3) استفاده می شود. به عبارتی در فوتورزیست های منفی و بخصوص در ضخامتهای زیاد، نوردهی مستقیم و بدون وقفه موجب پراش نور و ذوزنقه شدن کانالها می شود که نوردهی پالسی امکان دستیابی به کانالهایی با دیواره عمودتر را فراهم می کند

  • اپتیک و لنزهای مجموعه نوردهی شبیه سازی، بهینه و ساخته شده اند که این میزان از دقت در ساخت منجر به دستیابی به خطای توازی زاویه تابش نور به کمتر از 1 درجه شده است. قابل ذکر است که استفاده از مد پالسی و اپتیک مناسب مجموعه نوردهی امکان لیتوگرافی با کیفیت تری را فراهم کرده است.

  • طراحی، برنامه نویسی و نرم افزار دستگاه و ساخت مجموعه در شرکت انجام شده که قابلیت توسعه و آپدیت دستگاه در آینده را فراهم می سازد.

  • طول موج نوردهی 365 نانومتر است که البته بر حسب نیاز محققان قابل تغییر نیز هست.

  • ناحیه نوردهی: 11 سانتیمتر که کمتر دستگاهی قابلیت نوردهی در این ابعاد را دارد.

  • این محصولات دارای گارانتی 12 ماهه می باشند.

  • تولید و تامین لوازم جانبی مورد نیاز

    کاربردها

    ساخت ریزتراشه های MEMS و میکروفلویدیک/ قالب سازی برای کاربردهای مهندسی پزشکی/ مدارهای مجتمع و قطعات الکترونیکی

    جدول مشخصات فنی

    مشخصات فنی LMA-M-11 LMA-A-11
    پنل کاربری نمایشگر کاراکتری با کلیدهای کاربری ساده "4.3 :HMI
    طول موج نوردهی 365nm (قابل تغییر) 365nm (قابل تغییر)
    ناحیه نوردهی دایره ای به قطر 11cm دایره ای به قطر 11cm
    شدت نور 1 - 10 mW/cm^2 1 - 10 mW/cm^2
    خطای توازی زاویه تابش نور کمتر از 1درجه (اپتیک شبیه سازی و بهینه شده) کمتر از 1درجه (اپتیک شبیه سازی و بهینه شده)
    حالت های نوردهی نوردهی پیوسته و پالسی با زمان دهی دقیق و قابل برنامه ریزی نوردهی پیوسته و پالسی با زمان دهی دقیق و قابل برنامه ریزی
    حرکت ماژول همترازی حرکت موتورایز با رزولوشن 5um برای X,Y,Z و دامنه 15mm±، محور دوران 15± درجه و دقت 0.1 درجهدقت 0.1 درجه حرکت موتورایز با رزولوشن 0.2um و دامنه 15mm±، محور دوران 15± درجه و دقت 0.03 درجه
    حرکت دوربین حرکت دستی در محورهای X,Y حرکت موتورایز در محورهای X,Y
    مشخصات دوربین بزرگنمایی 400-40 برابر، خروجی HDMI و USB با نور انبر محوری جهت افزایش وضوح تصویر بزرگنمایی 400-40 برابر، خروجی HDMI و USB با نور انبر محوری جهت افزایش وضوح تصویر
    آپشنال پمپ وکیوم خشک پمپ وکیوم خشک
    استفاده از chuck Vacuum مناسب برای زیرلایه ها با سایزهای مختلف استفاده از chuck Vacuum مناسب برای زیرلایه ها با سایزهای مختلف