پلاسما-کلینر
پلاسما کلینر
می 5, 2022
وبلاگ

لایه نشانی دورانی

اسپین کوتر یا لایه نشانی دورانی روشی رایج جهت پدید آوردن لایه های نازک در ضخامت میکرومتری و نانومتری بر روی یک زیرساخت مسطح است که هدف از ساخت دستگاه ایجاد لایه یکنواخت و صاف با ضخامت قابل پیش‌بینی و تکرارپذیر است. این دستگاه جزء ملزومات فعالیت های  MEMS و Microfabrication است. این سیستم از یک محفظه تشکیل شده است که یک هولدر در مرکز آن قرار دارد. زیرساخت مد نظر بر روی هولدر قرار داده می شود که زیرلایه توسط پمپ وکیوم به صفحه گردان ثابت می‌شود تا در هنگام چرخش سریع به اطراف پرتاب نشود. شتاب، سرعت نهایی دوران و زمان پارامترهای قابل تنظیم دستگاه هستند. سیال را روی مرکز نمونه ریخته و دستگاه با شتاب مورد نظر سرعت گرفته و بعد از دوران با سرعت نهایی در طول زمان تعیین شده با شتابی مشخص ترمز می‌کند. با دوران، نیروی گریز از باعث حرکت مایع از مرکز زیر ساخت به حاشیه خواهد شد. همواره در کناره‌های زیر ساخت به علت کشش سطحی بالا بین مولکول‌های ماده محلول و لبه زیر ساخت، ضخامت لایه افزایش می‌یابد و معمولاً مناطق حاشیه‌ای زیر ساخت به همین دلیل مورد استفاده قرار نمی‌گیرند. ضخامت لایه حاصل تعادل بین نیروی اعمالی به منظور حرکت سیال به سمت لبه‌های زیرساخت و نرخ تبخیر حلال و افزایش گرانروی خواهد بود. با شروع چرخش حلال داخل رزین که فرار است تبخیر شده (بیش از نیمی از حلال داخل رزین در همان ثانیه‌های اولیه تبخیر می‌شود) و گسترش سیال بر روی زیرلایه تا جایی ادامه می یابد که به دلیل افزایش گرانروی نیروی دورانی توان راندن سیال به سمت خارج را نداشته باشد. در این زمان با افزایش مدت زمان دوران، ضخامت لایه کاهش چشمگیری نخواهد داشت. میزان شتاب دوران نیز می‌تواند بر روی خواص لایه پوشش داده شده اثرگذار باشد. در اکثر فرآیندها، شتاب نقش عمده ای در خواص الگوی ایجاد شده بر روی زیرلایه خواهد داشت. سرعت دوران، نیروی گریز از مرکز را برای حرکت سیال از مرکز به حاشیه نمونه فراهم می کند. قابل ذکر است که ویسکوزیته سیال ها با یکدیگر متفاوت بوده و هر چه ویسکوزیته بالاتر باشد در شرایط یکسان ضخامت نهایی بیشتر می شود. از کاربردهای این دستگاه می توان به موارد زیر اشاره کرد:

 لایه ‏نشانی فوتورزیست‏ها و ساخت قطعاتMEMS  شامل تراشه های الکترونیکی، میکروفبریکیشن، میکروفلویدیک

پوشش نانو ذرات

تولید لوح‏های فشرده مانند CD ROM ، DVD ROM

ساخت دیودهای نوری

تولید دیسک‏های مغناطیسی

دیدگاهتان را بنویسید

نشانی ایمیل شما منتشر نخواهد شد. بخش‌های موردنیاز علامت‌گذاری شده‌اند *